光学反光罩清洗技术

      一、清洗工艺流程

      1槽超声波洗剂洗----2槽超声波洗剂洗----3槽超声波市水漂洗----4槽超声波市水漂洗----5槽超声波市水漂洗---6槽超声波纯水漂洗----7槽超声波纯水漂洗----8槽超声波纯水漂洗---9槽IPA超声波漂洗----10槽IPA 超声波漂洗----11槽IPA 超声波漂洗----12槽IPA蒸汽干燥

      二、设备组成

       其他组成部分由储液槽、自动补液系统、手动排液系统、循环过滤系统、机械手、自动进出料台、抛动系统、抽气装置、整机监控系统、加热系统、超声系统

      三、工作原理

       首先操作人员将工件放进夹具，然后将夹具放进清洗篮，由机械手A送至*工位经过超声、抛动开启，清洗完毕后再由机械手A送至第二、三、四工位，再由机械手B送至第五、六、七、八 工位，zui后由机械手C送至第九、十、十一、十二工位以及下料工作台，出料后操作人员取出工件，进人下道工序。